サーヴァンプのアニメは、原作の小説に近い展開になっていますが、ご質問の視聴順序に関しては問題ありません。以下の順序で視聴するのも一つの方法ですね：
1. アニメの1話から5話までを見ます。
2. その後、劇場版「サーヴァンプ -Fate/stay night-」を観ます。
3. 最後に、6話から12話までのアニメを見ます。
ただし、劇場版は原作の小説に比べて異なる展開や内容を含んでいます。そのため、アニメの後半部分（6話から12話）を視聴する前に劇場版を見なくても、物語の流れを追うことができます。また、劇場版はアニメの第1季の最終話（第5話）での出来事を起点としていますので、第1季のアニメを全て見た後で視聴すると物語の流れをよりスムーズに理解できるかもしれません。
ただし、劇場版はアニメのストーリーとは異なる展開を採用しているため、全てを原作通りに理解したい場合は原作の小説を読むことをお勧めします。
