ファミマのATMはイーネットとゆうちょの2種類ありますが、それぞれ以下の方法ですべて1000円札で引き出すことができます。
◇ イーネットATMの場合
一部両替ボタンを押すことで、1度に87枚引き出すことができます。
<参考>
https://www.enetcom.co.jp/faq/list/
入金・出金について
Q. 両替にて全部1000円札で出すことはできますか?
A. お引出しの際に、金額入力画面の「一部両替」ボタンを押下していただくと、1万円分を千円札10枚で出金いたします。
◇ ゆうちょATMの場合
基本的に〇〇千円という入力で引き出す形になりますが、上限が20枚までと決まってますので、「20千円」と入力して引き出すのを4回繰り返したうえで、残り7千円を引き出してください。
<参考>
https://www.jp-bank.japanpost.jp/kojin/access/atm/kj_acs_atm_hikidasiseigen.html
※ファミリーマート等に設置している小型ATMでのお引き出しは、1,000円以上10万円以下
(紙幣は、1万円札のみのお取り扱いで10枚まで、千円札のみのお取り扱いで20枚まで。硬貨はご利用いただけません)