中国はマルチパタニング技術を駆使して液浸露光機で5nmノード作ってます。コスト的にはEUVのシングル露光には勝てないと思いますが。EUV露光機が入手できない現状、3nmも液浸で行くしかありませんが、歩留まりが上がらないと予想されます。
GPUはロジック半導体の種類のひとつです。他にMPU(CPU)とかもあります。
GAAは半導体の構造の名称です。FinFETからGAAに移行しつつあります。サムスンがいち早く導入し、TSMCも量産に使い始めました。ラピダスは2nmノードからスタートするので最初からGAAです。露光装置はASMLのEUV使います。